P19 - REALISATION DE MICRO-RESONATEURS EN MATERIAUX POLYMERES, DE FORME ARBITRAIRE, PAR LA METHODE DE GRAVURE DIRECTE PAR LASER AVEC ABSORPTION LINEAIRE ULTRA-FAIBLE
Quang Cong Tong  1@  , Bernard Journet  1  , Isabelle Ledoux-Rak  1  , Ngoc Diep Lai  1  
1 : Laboratoire de Photonique Quantique et Moléculaire  (LPQM)  -  Site web
CNRS : UMR8537, École normale supérieure [ENS] - Cachan, École normale supérieure (ENS) - Cachan
61 avenue du Président Wilson 94235 CACHAN CEDEX -  France

Les microstructures utilisées en optique intégrée, telles que des micro-résonateurs ou des guides d'ondes, doivent être assemblées sur une puce en 3 dimensions. Nous montrons qu'il est possible de réaliser différents types de composants optiques à 2 ou 3 dimensions, en matériaux polymères par une méthode simple de gravure directe par laser, s'appuyant sur un phénomène de faible absorption à un photon. Cette méthode nous permet de fabriquer en une seule étape, des structures "à la demande" en contrôlant très précisément la forme, les dimensions et l'emplacement des éléments. Les propriétés optiques des structures fabriquées ont été préalablement déterminées par simulation à partir d'un logiciel de calcul par éléments finis.


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