P10 - GUIDES D'ONDES GaN SUR SUBSTRAT Si PRESENTANT DE FAIBLES PERTES A LA PROPAGATION DANS LE VISIBLE.
1 : Laboratoire de physique de la matière condensée
(LPMC)
-
Site web
CNRS : UMR7336, Université Nice Sophia Antipolis (UNS)
LPMC, Parc Valrose 06100 NICE CEDEX -
France
2 : Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
(CRHEA)
-
Site web
CNRS : UPR10, Université Nice Sophia Antipolis [UNS], Université Nice Sophia Antipolis (UNS)
Bat. 5 Rue Bernard Grégory 06560 VALBONNE -
France
3 : Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information
(LETI)
-
Site web
CEA
MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 -
France
Dans cet article nous présentons la caractérisation d'un premier guides d'onde, composé de couches d'AlN et de GaN épitaxiées sur substrat de Si. Le mode fondamental à 633 nm présente 5dB/cm de pertes à la propagation ce qui est déjà un bon résultat pour des guides en semiconducteur à cette longueur d'onde. Ces pertes augmentent avec l'ordre du mode. Une modélisation soigneuse de la structure complète permet de comprendre qu'elles sont en grande partie dues au substrat de Si, et quelles pourraient être fortement réduite en réalisant le guide sur un substrat de SOI judicieusement choisi.